工作职责:
- 参与MBE设备的调研、选型、Move in、二次配、安装和设备验收,在要求的时间内及时释放产能并保证新设备达到工艺要求;
- 负责MBE外延生长GaN\Ga2O3\Sb化物 Recipe的开发;根据器件外延结构设计进行外延生长工艺的研发;
- 根据材料测试(HRXRD\AFM\PL\Hall\SIMS\CV等)与器件的电性反馈,进行外延工艺的迭代优化;
- 负责MBE外延工艺的PRS、SOP编写与维护;
- 负责进行外延生长产生的数据、工艺技术文件等资料的整理、保管与定期归档工作;
- 协助进行相关的国内外专利与科研项目的申请;
- 负责MBE设备的国产化调研、demo、选型 ...